石英晶振體作為頻率元件、濾波器,振蕩元件已廣泛應(yīng)用在廣播,通信,電子測(cè)量、航空、航天等方面。其發(fā)展歷史只有短短幾十年,美國是發(fā)展石英晶體最早的國家之一,最近一、二十年來,由于PCS、GSM、GPS、PDC、CDMA等諸多移動(dòng)通信和基站的需求,石英晶體振蕩器中的石英晶體諧振器不再是單個(gè)元件。它已發(fā)展成為組件,而且?guī)缀跞恳约苫?、全集成化、全?shù)字化形式作成振蕩器展現(xiàn)出來,振蕩器的體積比過去單個(gè)諧振器的體積縮小了數(shù)倍乃至數(shù)十倍。要制作出一個(gè)合格的石英晶振需要大大小小很多工序。
石英晶體振蕩測(cè)厚儀

膜厚控制儀用電子組件引起晶振片的高速振動(dòng),約每秒6百萬次(6MHz),鍍膜時(shí),測(cè)試每秒鐘振動(dòng)次數(shù)的改變,從所接受的數(shù)據(jù)中計(jì)算膜層的厚度。為了確保晶振片以6MHz的速度振動(dòng),在真空室外裝有“振蕩器”,與晶控儀和探頭接口連接,振蕩器通過迅速改變給晶振片的電流使晶振片高速振動(dòng)。
一個(gè)電子信號(hào)被送回晶控儀。晶控儀中的電路收到電子信號(hào)后,計(jì)算晶振片的每秒振速。這個(gè)信息接著傳送到個(gè)微處理器,計(jì)算信息并將結(jié)果顯示在晶控儀上：
（1)沉積速率(Rate) (埃/秒)
（2)已沉積的膜厚( Thickness) (埃)
（3)晶振片的壽命(Lie) (%)
（4)總的鍍膜時(shí)間(Time) (秒)
更加精密的設(shè)備可顯示沉積速率與時(shí)間的曲線和薄膜類型。

石英晶振監(jiān)控的優(yōu)缺點(diǎn)
◆優(yōu)點(diǎn):
1.晶振法是目前唯一可以同時(shí)控制膜層厚度和成膜速率的方法。
2.輸出為電訊號(hào),很容易用來做制程的自動(dòng)控制。
3.對(duì)于厚度要求不嚴(yán)格的濾光片可以利用作為自動(dòng)制程鍍膜機(jī)。
4.鍍金屬時(shí),石英晶振監(jiān)控較光學(xué)監(jiān)控來的方便精確。
◆缺點(diǎn)
1.厚度顯示不穩(wěn)定。
2.只能顯示幾何厚度,不能顯示折射率。
3.一般精密光學(xué)鍍膜厚度只用做參考,一般用作鍍膜速率的控制。
◆所以一臺(tái)鍍膜設(shè)備往往同時(shí)配有石英晶體振蕩器監(jiān)控法和光學(xué)膜厚監(jiān)控法兩套監(jiān)控系統(tǒng),兩者相互補(bǔ)充以實(shí)現(xiàn)薄膜生產(chǎn)過程中工藝參數(shù)的準(zhǔn)確性和重復(fù)性,提高產(chǎn)品的合格率。更多技術(shù)資料以及晶振產(chǎn)品解決方案可聯(lián)系康比電子

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